El manómetro de vacío de diafragma capacitivo de zafiro Azbil (presión o vacío), modelo SPG5A (estándar) y el modelo SPG6A (extra alta temperatura), utilizan un sensor de presión capacitivo de zafiro para lograr alta precisión y confiabilidad, y están diseñados para mantener el desplazamiento cero. Los manómetros son compactos y ligeros. Disponemos de modelos con autocalentamiento (45 °C, 125 °C, 150 °C, 160 °C, 180 °C y 200 °C). Los manómetros de diafragma capacitivo de zafiro son especialmente adecuados para la fabricación de semiconductores. Su resolución es de 1/10000 FS. Los materiales en contacto con gases son zafiro, DSALOY (equivalente a Inconel) y SUS316L. Los manómetros utilizan zafiro monocristalino para una excelente resistencia a la corrosión y a las altas temperaturas. La medición capacitiva ofrece alta repetibilidad incluso a altas temperaturas. El control PID digital basado en microprocesador proporciona un calentamiento rápido y una temperatura estable del sensor (modelos con autocalentamiento), lo que mejora la gestión de la temperatura y reduce el tiempo de arranque. Fácil ajuste del punto cero con botones de ajuste automático o botones de subida/bajada. El amplio rango de ajuste del cero es de ±20 % de la escala completa, lo que permite largos intervalos de sustitución/calibración y menores costes de funcionamiento. Los LED de estado muestran la salida de eventos y el estado del vacuómetro (normal, en proceso de calentamiento y anormal) de un vistazo. Los vacuómetros cuentan con tres repeticiones de eventos que pueden utilizarse para enclavamientos y tres alarmas de estado de salida para ajustes de eventos como anomalías en la instrumentación, fin del calentamiento y límites de presión superior/inferior, etc. Desde una PC, el usuario puede supervisar los vacuómetros y modificar fácilmente su configuración mediante el paquete de carga inteligente modelo SLP-SP5J70 (se vende por separado). Conformidad con la directiva IEC; marcado CE: cumple con las normas EN 61326 y EN 50011.
